二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius #293824453 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS是一款先进的蚀刻器/asher，专为高性能干蚀刻而设计。该设备非常适合MEMS、复合半导体等材料的研发。这种高精度蚀刻系统经过优化，可用于材料的亚微观处理和沉积。利用先进的PLC（可编程逻辑控制器）和FEAST（现场效应异步选择性转移）技术，TEL Telius 蚀刻器/asher提供了自动化、精确的蚀刻和沉积过程。TOKYO ELECTRON TELIUS是一款紧凑的设计，带有开放存取平台和符合人体工程学的数字控制面板。采用高精度低功率石英基板加热器进行精密温度控制，并对气体输送和压力控制进行精密控制，以优化表面清洁度和蚀刻。它还为蚀刻和沉积厚度提供了可调参数的可变速度范围。Telius配备了多种标准安全功能，包括消防和气体安全系统、自动关闭、低流量传感器。此外，该装置还提供防护屏蔽，以尽量减少接触有害物质。这台机器还配备了Peltier冷水机，以确保微观和纳米级加工所需的低温。高功率的TEL/TOKYO ELECTRON Telius旨在解决当代材料的多维、高冲浪机动性和低温加工要求。它提供了高效的真空工具和超稳定的腔室设计，提供了最高水平的蚀刻和沉积精度和均匀性。TEL Telius还配备了专门的C- Vac™技术,这是一种独特的基于真空的工艺,可维护和促进卓越的清洁和蚀刻能力。蚀刻器/asher采用定制的内置蚀刻器/asher腔室设计，可实现均匀的离子分布和均匀的蚀刻性能。总之，TOKYO ELECTRON TELIUS是一种先进的蚀刻器/粉碎器资产，经过优化，可用于材料的亚微观处理和沉积。它提供精确的温度控制、可变的速度范围和多种标准的安全特性，允许一个安全和可靠的蚀刻和沉积过程。该模型进一步配备了特定的C- Vac™技术，提供了卓越的蚀刻和沉积性能。Telius是一种高功率蚀刻设备，非常适合研发MEMS、复合半导体等材料。