二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius #9017825 待售
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ID: 9017825
晶圆大小: 12"
Etcher, 12"
Includes:
Make / Model / Description
TEL / TOKYO ELECTRON / Telius DT / Mainframe
TEL / TOKYO ELECTRON / Telius AC Rack / AC Rack 1
TEL / TOKYO ELECTRON / Telius AC Rack / AC Rack 2
KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller A low
KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller B low
KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller C low
KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller D low
KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller A controller
KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller B controller
KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller C controller
KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller D controller
TEL / TOKYO ELECTRON / SCCM DT / Process ship A
TEL / TOKYO ELECTRON / SCCM DT / Process ship B
TEL / TOKYO ELECTRON / SCCM DT / Process ship C
TEL / TOKYO ELECTRON / SCCM DT / Process ship D
Mainframe:
Loader module
(5) Loader port units
Process ship (PM + LLM + GB): 4
(4) Process modules
(4) Gas boxes
(5) Water leak detectors (LM:1, each PS)
Controller
Turbo Molecular Pump (TMP)
Chiller: Re-circulating coolant to maintain temperature
Support equipment:
(2) Power racks
(8) RF Generators
(2) AC Power supplies
(4) TMP Controllers
(4) I/O Boxes
(4) Water leak detectors
(4) Chillers
Does not include:
(4) PM Dry pumps
(4) LLM Dry pumps.
TEL TEL/TOKYO ELECTRON Telius蚀刻机是当今最先进的蚀刻系统之一。它是一种自动化、等离子体增强的多级蚀刻设备，可精确控制蚀刻过程的每个步骤。TEL Telius蚀刻器采用化学蚀刻、光刻和等离子体蚀刻技术的独特、专有组合，以实现精确、可重复的精加工。这允许用户精确控制蚀刻深度、轮廓和效率。蚀刻器还具有一系列自定义流程参数设置,以满足特定需求。蚀刻器也是可扩展的，允许额外的工具和配件集成到系统中。利用这些可扩展的特性，可以蚀刻更广泛的材料，从传统的多氯联苯到更复杂的形式，如盲孔和埋藏的Vias、HDI层和堆叠的Micro-Vias。蚀刻器还提供了广泛的其他功能,如可编程配方库和监控单元,用于监控过程和检查成品。另一个重要特点是该机设计为操作友好，使操作和维护简单易行。该工具还具有先进的温度控制和安全功能。它通过防止危险情况和事故的安全联锁保护。它还提供可用于检查成品的集成相机资产,确保您的蚀刻工艺质量最高。该模型还被设计为环保。其非穷举排气设备和零降流量设计使其能够最大限度地减少对环境的排放。它还具有空气回收系统,可降低能耗并节省运营成本。TOKYO ELECTRON TOKYO ELECTRON TELIUS蚀刻器可用于蚀刻多种材料，从常规多氯联苯到复杂形式，是制造商寻求可靠和可重复蚀刻工艺的理想选择。它的特点和可扩展性使其成为一个强大的工具，可以用来最大限度地提高效率和优化成品。
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