二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tellius JIN #9399574 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tellius JIN是一款用于半导体器件制造的最先进的蚀刻和asher设备。该系统旨在在晶片上创建精确的模式，以生产高质量的集成电路（IC）组件。JIN是用于半导体器件制造的集成工具的集合，从蚀刻和灰化工具到化学管理工具。JIN的蚀刻工具使用感应耦合等离子体（ICP），从晶片表面快速、准确地将有图样的掩码转移到下面的器件层上。此过程消除了材料残留,提高了设备性能和可靠性。JIN还支持多种蚀刻技术，包括深沟、标准力和顺序蚀刻。所有技术都针对效率和准确性进行了优化,并且该单元能够以统一的深度分辨率执行复杂的蚀刻轮廓。JIN的灰化工具是从晶圆和器件表面去除材料的高效、精确的工具。利用等离子体增强型化学气相沉积技术和微波-编辑-等离子体技术，该机器能够有效地去除材料，同时留下一层固体保护性聚合物。该层有助于保护设备免受氧化，保持高性能和防止材料污染。JIN还有一个强大的化学品管理工具，用于精确控制液体化学品。CMS确保在蚀刻和灰化过程中只使用质量最高的化学品，资产可以精确监测和调整化学品浓度，以最大限度地提高工艺性能。凭借其先进的自动调谐和校准功能,CMS确保了一致的化学行为,确保蚀刻和灰化过程精确且可重复。TEL Tellius JIN是半导体行业可靠、精确、高效的蚀刻和灰化模型。其先进的技术和强大的工具使设备质量和产量有了有意义的提高，设备确保了对化学管理、蚀刻和灰化过程的精确控制。JIN具有很高的准确性和可重复性，是现代半导体器件制造必不可少的工具。