二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tellius JIN #9399575 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tellius JIN是一种用于半导体微加工的蚀刻器/asher。它配备了高精度XY电机驱动设备，既可实现小型设备开发，又可实现大型平板显示器的高速、高精度制图。TEL Tellius JIN将热漂移和可重复游行的恶化效果降至最低,从而实现了基本掩蔽工具和时间临界过程的高位置精度和可重复模式。TOKYO ELECTRON Tellius JIN有快速遥控系统，以减少複杂生产系统的重迭处理。它还提供了多种选项,如长寿命流程模块、高级操作控制软件、快速处理速度以及许多其他功能。Tellius JIN专为高效操作而设计,为蚀刻/分贝器提供高性能、经济高效的解决方桉。TEL/TOKYO ELECTRON Tellius JIN也有一个内建的多步模式製程，能够用先进的机器人夹具和模式识别单元製作複杂的模式和全过程控制。TEL Tellius JIN还提供了广泛的运动控制选项,从线性和旋转运动到伺服控制运动控制和高速精细运动。TOKYO ELECTRON Tellius JIN非常可靠,具有先进的故障检测和恢复程序。其最先进的惰性装置保护保证了较低的缺陷率，有助于缩短工艺后检查时间。该机还结合了温度控制、温度变化保护以及改进的工艺稳定性，即使在恶劣的工艺环境下也是如此。Tellius JIN是多种蚀刻和蚀刻相关工艺的理想选择，包括光刻加工、蚀刻、成型、电镀、钝化和氧化。其设计提供稳定的蚀刻和可靠的掩蔽工具转移，使其成为最具挑战性的应用的理想选择。TEL/TOKYO ELECTRON Tellius JIN也是快速原型制作和快速设备制造的绝佳选择，允许高通量、低停机时间、高精度。