二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trais #9211658 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trais是一种用于半导体制造的蚀刻器/asher设备。它提供了一个快速、精确的蚀刻/ashing过程，高度可重复和精确。TEL Trais系统由几个关键设备组成,包括控制单元、蚀刻单元、刷新单元和负载/卸载单元。控制股负责控制整个蚀刻/灰化过程。它包含各种软件,可用于配置工艺和调整材料、设置每个层或工艺以及设备设置。这样可以对过程进行非常精确的控制。蚀刻单元是TOKYO ELECTRON Trais单元中的主要蚀刻/灰化单元。它包含一系列直接、蚀刻和清洁晶片的腔室和机器人。蚀刻单元还包含一个能够在晶片上沉积氧化物的腔室，以便形成半导体器件的绝缘层。刷新单元用于清除蚀刻单元中可能留下的任何有害颗粒或污染物。它也用于去除任何蚀刻副产品。刷新装置能够用超纯化学物质清洁晶片，确保清除残留的颗粒或污染物。负载/卸载单元负责在Trais机器的不同单元之间交换晶圆。负载/卸载单元能够对蚀刻单元的晶片进行排序和对齐。也可用于晶片的装卸，以便进一步处理。TEL/TOKYO ELECTRON TRAIS工具专为尖端半导体器件製造过程而设计，提供精确且可重複的蚀刻/灰化过程。它还能够进行氧化物沉积和蚀刻后清洗，从而获得高度精确和可重复的结果。TEL Trais资产是半导体器件制造的一种高度可靠、经济高效的解决方桉。