二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias LPA #9161871 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS LPA是一种化学机械平面化（CMP）蚀刻器，设计用于晶圆加工。这台机器能够达到每小时850个晶圆，在平面化方面产生极高的精度。TEL Trias LPA利用一个包含四个晶圆碗固定装置的旋转表。这些固定装置中的第一个可以使晶片牢固地定位，而另一个化学装置可以去除任何不需要的特性。亚微米颗粒液浆与刷子工具配合使用，为晶圆表面提供均匀抛光。第二个夹具使超声波冲洗过程与颗粒液体浆液的一个单独的循环彻底清洁。第三种夹具用于光刻工艺，使用光敏光刻胶。光致抗蚀剂暴露于特定光源以创建所需的图样。第四种夹具是一种用于冲洗光刻胶和任何其他有害残留物的隧道夹具。该机先进的控制系统允许将腔室温度、压力、浆液流等多种工艺参数控制到最高1微米的精度。此外，TOKYO ELECTRON TRIAS LPA还包括一种独特的提升机构，可以调节晶圆碗和刷子工具的高度。此功能消除了手动调整的需要,并限制了抛光过程中晶圆材料的损失。Trias LPA是一种极其可靠的设备,长期运行效果一致。其坚固的结构保证了较长的工作寿命，内置的安全特性保证了操作员的安全。对于寻求可靠、经济高效的蚀刻器的制造商来说，这台机器是一个理想的选择。