二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias MPD CE T2 #9132453 待售

ID: 9132453
Single wafer plasma treatment system.
TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS MPD CE T2是一种高度先进的蚀刻器/asher设备,专门为半导体工业中执行的CMP工艺而设计。这台最先进的机器提供了业界无与伦比的卓越等离子体蚀刻和沉积能力。TEL Trias MPD CE T2利用整体大气压力等离子体源提供最高精度和质量。这种等离子体源能够产生具有低射频功率的高温等离子体,从而实现非常高效和均匀的蚀刻和沉积过程。此功能非常适合单金属和多金属蚀刻工艺,可提高整体生产率和结果一致性。此外,TOKYO ELECTRON TRIAS MPD CE T2配备了具有实时数据反馈功能的高级监控系统,使工程师和技术人员能够实时调整参数,以实现最高的效率和质量。监控单元可以根据用户的特定需求进行定制,确保快速的流程优化和可靠的性能。Trias MPD CE T2还配有内置的安全机器,提供了防止潜在事故和故障的保护。此工具提供一系列安全功能,包括气体报警器、超压释放阀和惰性气体压力调节。这种安全资产确保了机器所有用户的安全环境。总之,TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS MPD CE T2是一个高度先进的蚀刻器/asher模型,专为半导体行业的CMP工艺而设计,提供卓越的等离子体蚀刻和沉积能力。集成的大气压力等离子体源、先进的监测设备和内置的安全系统使TEL Trias MPD CE T2成为实现高效、均匀、安全的理想解决方桉。
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