二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias MU SPA #9267460 待售
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ID: 9267460
CVD System
(3) SMC Thermo chillers
(3) E-Racks
(3) Gas cabinets
(3) Process modules
(2) Pump racks
(3) Matching boxes
Utility terminator
(3) Transformer boxes PM4.
TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS MU SPA是为半导体和MEMS处理而设计的高度先进的蚀刻器/asher。利用500 MHz射频功率、飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）、低能束沉积（LEBD）等最先进的技术，提供精确的蚀刻结果。该机具有6英寸的标准晶片大小,可用于包括电路板、MEMS设备、传感器和其他微电子组件在内的各种应用的高精度阵列。蚀刻器/asher还配备了介电层沉积室以及原位光学对准设备。TEL Trias MU SPA采用多通道蚀刻工艺，利用反应性离子组合，在工艺过程中沉积预定义的二氧化硅和氮化硅薄层，确保准确的结果。蚀刻器/灰化器还具有多腔室系统，使其能够通过允许每个蚀刻阶段使用不同的气体来改进蚀刻过程的结果。TOKYO ELECTRON TRIAS MU SPA还具备几项尖端的安全功能，如先进的离子源控制系统、真空互锁单元，以及监控和防止意外驱动器损坏的综合硬件保护机器。这样可以确保安全高效的操作,而不会影响结果的质量。Trias MU SPA具有高精度的蚀刻沉积工艺和优异的安全性能，非常适合微电子应用。它是广泛的半导体和MEMS相关项目的理想选择。
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