二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9277487 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS SPA是一款高度先进的蚀刻器，又称asher，专为最严格的先进光刻和成像应用而设计。这种蚀刻器是为高度化学控制而设计的，结合了真空室结构的最新进展。它提供了一个非常干净和稳定的蚀刻环境，这对于先进的光掩模和设备的最高效和精确的蚀刻至关重要。TEL Trias SPA蚀刻器提供了广泛的工艺控制功能,允许超低的千伏曝光量、严格控制蚀刻温度以及对工艺参数的出色监控。这些过程控制功能可实现快速高效的蚀刻过程,同时还能产生出色的图像和设备结果。蚀刻器的主体采用超高纯度铝构造，以确保密封密封和最小程度的化学暴露于部件。该蚀刻器采用专有的三层层绝缘材料设计，以消除污染的可能性。其腔室温度被严格控制在+/-0.2°C，以减少蚀刻过程中的像差，并为蚀刻提供最佳环境。蚀刻器还利用独特的多压力架构，进一步将蚀刻器内部与外部污染源隔离开来。TOKYO ELECTRON TRIAS SPA蚀刻器还提供了广泛的专门计量工具，用于成像和测量芯片和设备特性。这些工具包括紫外线激光干涉仪、扫描电子显微镜以及一系列光学显微镜和陀螺仪测量系统。这允许在蚀刻过程中对芯片特征进行精确的成像和计量。Trias SPA蚀刻器是任何光刻或成像应用的高级蚀刻解决方桉。其先进的工艺控制能力、超高纯度的腔室构造以及精密的计量工具，使其成为实现高质量蚀刻结果的可靠高效工具。