二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9284152 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS SPA是一种自动化的蚀刻/asher工艺,专为物理和电子设备制造而设计。此过程使制造商和工程师能够精确绘制各种曲面的图样,其最小特征尺寸可达10纳米,并具有加工有机、无机和高分子材料的灵活性。该设备包括三个主要组件：腔室、等离子体源和控制电子设备。该系统以真空为基础的加工室作为单元的心脏，设计具有先进的排气、排空和气体分配能力，使得广泛的加工应用成为可能。附着在工艺室的等离子体源的输出使各种等离子体蚀刻化学得以实现，而机器的控制板则允许为优越的产品产量提供精确且可重复的工艺配方。TEL Trias SPA包括多种有助于确保最佳过程控制和性能的功能,例如用于自动定义蚀刻过程组成步骤的复杂晶圆PLC控制工具。此外,资产还包括各种有用的辅助功能,如实时数据采集、警报数据监控和自动流程配方调整,有助于最大限度地提高流程性能。该模型还包括一系列图形监控接口，帮助工程师进行半导体器件制造的工艺开发和鉴定阶段。设备先进的测压能力，结合其实时图形界面，使加工参数的有效调整能够实现精确、可重复的蚀刻结果。为了确保一致的性能和可靠性,TOKYO ELECTRON Trias SPA旨在将故障和维护成本降至最低。这是通过应用先进的控制系统、强磁卡盘、耐腐蚀加热器和专用真空泵实现的。总体而言,Trias SPA蚀刻系统是一种功能强大且可靠的设备制造工具,可为各种具有小特征尺寸的曲面的蚀刻提供经济高效的解决方桉。其灵活性、精确度和易用性使其成为半导体器件制造中不可或缺的工具。