二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9294450 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA是一款用于半导体工业的先进蚀刻/灰化机。它旨在提供卓越的工艺控制和可靠性,以帮助制造商确保最高产量。TEL Trias SPA具有几个关键组件和高级功能。先进的腔室设计创造了一个稳定的高真空环境，因此用户可以在不影响任何工艺参数（如温度或气流）的情况下实现最快的蚀刻速率。低摩擦卡盘、闸阀和先进的负载端口提供了改进的温度控制和安全功能,而梁线导轨确保了晶片的最大均匀性。这些功能使用户能够以最短的蚀刻时间实现最高的均匀性。TOKYO ELECTRON TRIAS SPA的高精度使得它非常适合蚀刻的特征或图桉尺寸，需要精确、可重复的结果。该设备配有光刻胶厚度监测，使用户能够更好地了解其蚀刻工作的准确性，使其能够调整配方并提高产量。Trias SPA还配备了一套全面的高级软件。Digital Recipe Management system允许用户轻松管理配方库，甚至可以与设施的命令和控制单元集成。Advanced Process Control机器自动补偿进程参数的变化,而集成的Co-simulation工具允许用户在进程执行前评估其后遗症。先进的自动腔室清洁功能采用三级腔室清洁资产，具有可单独寻址的腔室，确保晶片的回收时间更快，清洁度高。TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA是半导体工业的先进蚀刻机。其坚固的功能确保了卓越的工艺控制、高精度、均匀性和可重复性,以及更短的蚀刻时间。TEL Trias SPA通过提供全面的高级软件套件帮助用户提高产量,其中包括数字配方管理和高级流程控制系统,以及自动室内清洁模型。