二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9315410 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS SPA是一款先进的蚀刻器/asher，专为广泛材料的深度蚀刻而设计。这种蚀刻/灰烬器具有高达500 μ米的硅蚀刻能力。TEL Trias SPA能够提供高达3.5 μ m的蚀刻图样,具有出色的精度和出色的图样可重复性。蚀刻器/asher是广泛材料蚀刻的理想选择，从硅到其他基材，如石英、陶瓷、玻璃、ITO等材料。蚀刻器/asher实现了出色的轮廓控制和最小的特征过度蚀刻,从而实现了精确创建的模式。TOKYO ELECTRON TRIAS SPA 蚀刻器/asher装有石英卡盘和石英蚀刻晶片架等标准元件。它被设计成一种紧凑的设备，占用很少的地板空间，从而允许更高的工艺密度。蚀刻器/asher用户友好,操作方便。该系统配备了多种控制程序，使用户能够选择最优工艺条件，达到最佳蚀刻效果。该单元还允许用户监控蚀刻过程，并确保蚀刻剂是材料的理想选择。Trias SPA 蚀刻器/asher适用于各种材料和基材的工艺控制。它可以同时处理各向异性和各向同性蚀刻过程。蚀刻器/asher配备了多种高级安全功能，以确保安全的蚀刻过程。它配备了全彩色图形用户界面（GUI），简化了对机器的控制。GUI还允许随着时间的推移跟踪回溯数据,以确保蚀刻过程的准确性和均匀性。此外,TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS SPA 蚀刻器/asher还具有多种功能,使用户能够监视和维护机器。它提供手动和自动基板清洁功能,缩小特定晶圆尺寸的工艺窗口,并简化工艺维护。此外,蚀刻器/asher还支持批级编程和单晶圆编程,因此非常适合各种蚀刻应用。总而言之,TEL Trias SPA 蚀刻器/asher是一种先进、可靠的蚀刻器/asher工具,可产生准确、可靠的结果,同时还提供了宝贵的过程控制功能、过程监控和安全功能。适合各种蚀刻等应用，是实验室和生产设施的绝佳选择。