二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #293627026 待售

TEL Trias TI/TIN是一种蚀刻/灰分工艺设备，设计用于对半导体基板进行高精度蚀刻或灰化。它被设计用于薄膜半导体的制造，并且非常适合于钙薄膜或层状基板的蚀刻或灰化。该设备由一个工艺室和一个高度精确的基材载体组成，提供了高通量和高水平表面精度和稳定性的独特组合。工艺室是双室系统，有工艺和排气室，由浮动隔膜隔开。这样可以精确控制和测量腔室内的压力、温度和流量。该系统对于高精度蚀刻特别有用，因为它最大限度地减少了磨损痕迹的形成和对基板的损坏。腔室的温度是动态的，允许温度范围从200 °C到400°C，允许多种用途，如化学气相沉积（CVD）工艺。腔室的压力也是可调的，可以设定在1至10托尔的范围内。Trias TI/TIN还提供了高度精确的基板载体,能够支撑直径不超过4英寸的基板。基板载体使用空气轴承自行悬浮，并在蚀刻/灰化过程中提供水平基板支撑。基板载体还能够在三个轴上运动，允许在过程中对基板进行精确的阵列和对准。TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN是一款用于半导体基板蚀刻/灰化的先进工具，提供高精度和高通量的独特组合，使其成为广泛应用的理想工具。双腔室设计、动态温度和压力设置，以及高度精确的基板载体，为用户提供了广泛的蚀刻和粉刷一系列不同应用的基板选项。