二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #293638915 待售
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TEL Trias TI/TIN是一种前沿蚀刻和灰化系统,能够处理各种样品类型和大小。蚀刻器/asher是一种设计用来为基板的表面(通常是半导体)绘制图案的机器。它是创建电子产品的起点,允许用户快速准确地创建复杂的设计。TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN是一种多用途、高度可配置的蚀刻器/asher,能够创建最复杂的几何形状和尺寸。它的自动化和用户控制的参数为用户提供了极致的灵活性,创造了一个高可重复性和准确性的过程。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN非常精确,在直径可达300 mm的基板上具有高达50 nm的阵列精度。它还具有广泛的工艺和气体化学灵活性,允许用户处理当今各种复杂的结构。TEL Trias TI/TIN是环保的,具有低真空、超低K和高纵横比技术,意味着更少的资源消耗和更少的残留物。TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN旨在在最具挑战性的时间范围内提供最大的工艺吞吐量。其双光束蚀刻和灰化能力以及先进的DI/RI技术在不牺牲创新和可重复性的前提下提供了更高的吞吐量。自动预分选和优化配方等功能旨在最大程度地减少加工时间,同时提供更高的产量。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN使用高分辨率的人性化彩色触摸屏控制面板操作简单。该控制面板允许用户轻松监控和调整过程,包括与其集成配方自动优化算法进行通信。这使用户能够快速准确地优化制造过程。TEL Trias TI/TIN在蚀刻/灰化方面被认为是首选。它真正在同行中脱颖而出的是其高科技自动化、准确性、可重复性和环境友好性。这使得TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN成为要求最苛刻的半导体蚀刻和灰化应用的绝佳选择。
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