二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #293644140 待售

TEL Trias TI/TIN是一种蚀刻设备（也称为asher），用于制造集成电路（IC）基板。它使用电动金属源在基板上创建基于金属的图样。Asher由各种功能成分组成，包括底物、反应室、温度控制单元、蚀刻电极和蚀刻气体。TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN的底物是一种金属、半导体或绝缘体材料，为金属蚀刻电沉积提供支撑。它被放置在系统的反应室中，在那里暴露于蚀刻气体中。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN的反应室是允许蚀刻气体与底物接触的密封室。它还装有温度控制装置，用于监测蚀刻气体的温度。蚀刻电极是灰烬的金属来源。它包含一个金属源，如TiN或W，并被安置在与反应室分开的腔室中。金属源被加热，离子与底物接触。蚀刻气体用于金属蚀刻过程。它通常由氟基气体（如氯）和反应物气体（如氢）的组合组成。蚀刻气体有助于将金属源蚀刻到基板上，同时也防止损坏设备的其他部件。最后，用机器的温度控制单元来调节反应室的温度。这样可确保温度保持在可接受的水平,以优化蚀刻过程。总体而言,TEL Trias TI/TIN蚀刻工具效率高,用途广泛。它设计用于制造各种IC基板。维护少，可一次性处理大量基材。此外,该资产非常适合手动和自动操作,使其成为创建复杂IC模式和特征的理想解决方桉。