二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #293689275 待售

TEL Trias TI/TIN是一种用于半导体制造的高精度蚀刻器和asher。它能够用广泛的工作材料如硅、二氧化硅、原子级金属，甚至是多层纳米材料进行蚀刻和灰化。TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN以感应和热场（称为三场技术）进行蚀刻和灰化。这种感应场和热场的组合允许精确控制蚀刻量，减少任何不良的副作用，否则可能发生。对工作温度进行监测和控制，以达到最大均匀度，从而能够对各种材料进行精确的蚀刻和灰化。由于其先进的温度控制,该机还具有稳定、可重复的性能.TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN具有6英寸晶圆载荷能力，最多可容纳四种不同的蚀刻气体。它还包括气体成像功能，允许用户根据气体分析优化反应性离子蚀刻条件。可以在以后存储流程数据以进行召回,从而提供可重复且可靠的性能,从而节省时间和资源。TEL Trias TI/TIN具有简单的用户界面,易于操作,并能够通过个人计算机和触摸屏进行远程监控。可以从远程位置监视和操作计算机,从而允许用户访问数据并在几乎任何地方执行操作。综上所述，TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN是一款用于半导体制造的高精度蚀刻器和asher。它提供高效的可重复性能和广泛的兼容材料、温度控制以及易于操作的远程监控选项。这台机器是一系列半导体制造应用的理想选择。