二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias Ti/TiN #293802348 待售

TEL Trias TI/TIN是一种为半导体应用而设计的蚀刻器/asher。它是一种多功能工具，可用于蚀刻、退火和预清洗过程。Trias TI/TIN利用电子束产生部分真空，对蚀刻过程提供高度控制。其精确度和可重复性提供一致、高质量的蚀刻结果。该工具具有较低的颗粒密度控制，以尽量减少颗粒在基板上的风险。Trias TI/TIN提供多种蚀刻功能，包括RIE（反应性离子蚀刻）、电子束物理气相沉积（e-PVD）和深层反应性离子蚀刻（DRIE）。其强大的蚀刻能力使其能够快速准确地从细腻的基材中去除材料。该过程允许最大程度地控制蚀刻参数,如温度、配方和对齐方式。此外，TI/TIN还可用于将金属和其他材料沉积到基板上。除了蚀刻，Trias TI/TIN也可用于退火。它可以用来修改基板的物理和化学性质，以及平滑和致密的表面。此过程还有助于减少由于材料过大应变而导致的芯片故障。此外,Trias TI/TIN可用于预清洗基板。此过程可消除基板表面的污染物,以确保获得最佳效果。总之，TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN是在半导体应用中使用的高度先进的蚀刻器/asher理想。它的高精度和可重复性使其能够获得精确的蚀刻结果，而其特定于蚀刻、退火和预清洗的多功能功能则提供了附加值。此外，它的低颗粒密度控制有助于降低污染风险。