二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9212676 待售
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TEL Trias TI/TIN是一款为满足各行业需求而设计的蚀刻/asher设备。它能够蚀刻和粉刷各种材料,包括铜、铝、不锈钢和硅。该系统由一个高性能电子束源、一个真空室、一个精密的控制单元和一系列特定于应用的支持系统组成。TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN的电子束源能够产生高达50kV的能量,并配备可调节的偏转器设置。这样可以在不浪费材料的情况下进行精确的蚀刻。真空室通过保持光束和室内环境的清洁,提供了最佳性能和最大的蚀刻精度。它包括温度控制器、自动安全关机和可调栅格设置。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN的控制机设计方便操作,并提供对蚀刻工艺的精确控制。它包含一整套用于流程设置和监控的用户界面。它还包括一个图形用户界面(GUI),以方便编程和优化脚本。各种数据采集和诊断软件包可用于分析蚀刻结果。该工具通过为材料的批量和单步蚀刻、灰化和划定提供特定于应用程序的支持系统,为灵活的容量而设计。TEL Trias TI/TIN提供了广泛的蚀刻工艺参数,从高温和超高速蚀刻到低温和低压蚀刻。它利用超高清成像资产实现卓越的线路尺寸和介电墙宽度控制,以及精细的特征制造。TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN设计用于半导体、医疗设备、MEMS和PCB行业。它是一种可靠、高效的工具,用于在一系列材料中蚀刻复杂的形状、轮廓和特征。该模型能够产生周期短、浪费最少的高质量结果。
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