二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9243662 待售

TEL Trias TI/TIN是专门为先进半导体工艺技术而设计的先进蚀刻设备。它是一种多腔室系统，能够将薄膜沉积在半导体基板上以及蚀刻和带状光致抗蚀剂上。Trias TI/TIN旨在为半导体器件的制造提供高度可靠、低成本的性能。TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN包括一个先进的等离子体控制单元，可以精确控制蚀刻均匀性和选择性。这台机器结合了压力和射频脉冲，以便对蚀刻剖面进行严格控制。此外，它还配备了一个反馈工具，可以持续监测蚀刻过程，以确保结果符合预期。Trias TI/TIN还包括一个源模块,它提供蚀刻所需的清洁电力。该模块通过精确控制清洁电力供应，提高了蚀刻机的整体性能。此外,它还可以提供额外的工艺气体,以提高性能。Trias TI/TIN配备了磁滤器资产，以确保蚀刻过程中的气体稳定性和保持力。该过滤器模型消除了可能污染蚀刻过程的不需要的颗粒,从而改进了蚀刻结果。Trias TI/TIN设备非常适合生产先进的半导体器件，因为其卓越的可靠性提高了产量。它的低成本操作确保了最低的总体拥有成本。该系统还具有可配置的配方，使其适合多种蚀刻方法和技术。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN是一款先进的蚀刻装置，提供精确的控制和可靠的性能。其精细的等离子体控制、源模块和磁滤波器确保了高效的蚀刻过程，而可配置的配方使机器非常适合多种蚀刻方法。因此，它是制造先进半导体器件的绝佳选择。