二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9253817 待售

TEL Trias TI/TIN是一种用于半导体加工的最先进的蚀刻器/asher。它采用深层反应离子蚀刻（DRIE）技术，以极高的精度和可重复性生产物品。它主要用于半导体行业,用于100 nm以下的特性尺寸生成等应用。蚀刻过程本身是在真空室中进行的。将根据手头的任务选择的工艺气体与样品一起引入室内。在这个过程中，电场和来自室内的爆炸创造了一个蚀刻环境。这种环境与工艺气体和样品相互作用，以高度精确的顺序蚀刻、退火和沉积材料，从而形成具有图样蚀刻轮廓的二维和三维结构。TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN配有石墨敏感器，保护要蚀刻的物品，确保温度保持在最佳水平。该系统可确保物品保持高度稳定且闪烁极少,因此可实现高精度蚀刻和退火。该系统还配备了自动晶片处理程序，可以同时蚀刻和退火多个项目。处理程序能够在不同的方向上精确放置和移动样品，以便进行各种蚀刻工艺。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN带有3微米的分辨率，一直是TEL在晶圆加工业取得成功的标志。它还配备了臭氧安全互锁机构等一系列安全功能，保护晶片免受臭氧泄漏。综上所述，TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN是一种高度精确、可重复和可靠的蚀刻器/asher，允许用户生成高精度的二维和三维结构。它配备了石墨敏感器、自动晶片处理器、3微米分辨率和一系列安全功能，确保物品保持高度稳定的状态，并保护其免受臭氧泄漏。