二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9253877 待售

TEL Trias TI/TIN是一种高容量的自动化蚀刻器,它结合了多种蚀刻和剥离技术,为各种抗蚀剂和基材材料提供平滑、高质量的蚀刻。TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN设备具有先进的耐粘性和电磁保护层,可确保可靠和高容量的蚀刻,而不会影响质量。它通过其Shape Wizard软件支持任意工艺计划,并通过其强大可靠的PECVD显示器显着减少了停机时间。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN蚀刻器配备了两个等离子体源，一个提供离子电流50mA的偏置源和一个可调蚀刻功率的无偏置源。每个源都有独立调节的等离子体参数和温度，允许在蚀刻时进行最佳控制。这样可以在不同的材料之间进行高质量的蚀刻和良好的选择性，使得TEL Trias TI/TIN成为许多人的热门选择。它还支持广泛的输入和输出电压参数，允许与医疗和半导体器件直接兼容。另外，TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN的工艺室建设稳固，以减少污染，减少与温压波动相关联的反应室漂移。该腔室还可以针对不同的蚀刻应用轻松打开、清洁和调整。它还包括一个额外的用于条带和高频预清洁工艺的微型快门室，以及与高刚度材料的溅射蚀刻有关的特殊工艺。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN的整体控制系统也相当强大，不仅包括Shape Wizard，这是一个为在薄膜模式上方便的作业编程和蚀刻模式识别而设计的图形用户界面，还包括多种其他控制组件。该单元包括一个自动调整时间设置程序、ESC密钥、一个多语言支持菜单,以及一个控制设置窗口和警报窗口,以帮助您监视进程。此外，它还包括ECO模式，通过优化等离子体源上的负载有助于保持较低的蚀刻成本，以及一台OVLF（过载保护）机器，在电源超出其编程限制时自动关闭电源。总之，TEL Trias TI/TIN是一种高度可靠的蚀刻器，旨在达到最大效率和最佳效果。其先进的特性，如用途广泛的等离子体源、坚固的加工室以及强大的控制工具，使其成为各种蚀刻应用的理想选择。