二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9294366 待售

TEL Trias TI/TIN是为半导体制造业设计的高性能蚀刻器/asher。它能够对所有类型的材料，包括硅、玻璃、多晶硅和石英，提供高质量、均匀的蚀刻/阴影。蚀刻器/asher使用可靠、标准定义的蚀刻/阴影处理设备。它包括一个由TOKYO ELECTRON开发的具有先进软件的可编程控制系统，能够实现可重复、高质量的结果。蚀刻器/灰化器由加热的基板、聚焦透镜、用于蚀刻/阴影的喷嘴、等离子体发生器和基板温度监测器组成。它配有Peltier冷却装置，以确保底物在蚀刻/遮蔽后得到正确维护和冷却。该蚀刻器具有较高的精度和可重复性，以及可调节的光束速度和角度，以优化蚀刻/阴影。机器配有真空泵，以保持蚀刻/阴影环境清洁干燥。它还装有专用排气工具，可确保从工作区中清除任何排出的颗粒。资产还配备了精确的蚀刻/阴影监视器，跟踪蚀刻/阴影处理过程，并在过程完成时通知用户。蚀刻器/asher还支持多种类型的蚀刻/阴影,如各向异性、各向同性和毯子蚀刻/阴影。此外,模型还可以处理有阵列的蚀刻/阴影处理,并且能够在大面积上蚀刻/阴影处理。最后，该设备包括电源管理、离子束沉积和晶片保护等特点，使其成为工业应用中可靠、通用的蚀刻/灰化器。