二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9294475 待售

TEL Trias TI/TIN是为半导体应用而设计的蚀刻器/asher。它是一种热板类型的机器，可以快速地进行许多精密的蚀刻和剥离过程。机器由四个室组成；蚀刻、剥离、转移和排气室。蚀刻室包含蚀刻单元，其中硅基板浸入蚀刻液体中进行图样化。带状室包含蚀刻液体清洁剂，基板在其中暴露于超声波振动，去除基板上的蚀刻残留物。在带状腔内产生真空，以除去蚀刻液体和产生的残留物。转移室用于在蚀刻室和带状室之间运输基板，而排气室则用于清除腔室产生的烟雾。该机配备了先进的控制设备，为用户设置蚀刻和剥离工艺参数时提供卓越的功能和灵活性。操作员可以利用控制系统调节蚀刻时间、蚀刻温度、蚀刻压力和蚀刻溶液浓度。使用者也可以使用该单元来设定带状室和传递室的温度、压力和干燥时间。此外，机器允许用户存储为特定基材和工艺创建的蚀刻配方，这些配方和工艺可以随时检索和使用。该工具还监视流程参数并向用户提供反馈。TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN有几个安全功能，以确保正常操作和防止事故发生。采用接地装置，消除静电荷，在蚀刻和剥离过程中提供安全措施。该模型还通过确保腔室在使用时被正确锁定来防止操作员进入蚀刻腔室和带状腔室。安装了警报设备，如果任何工艺参数漂移到其既定范围之外，将发出声音，提醒操作员纠正它们。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS TI/TIN在蚀刻和剥离晶片时提供高精度和快速周转。它专为半导体应用而设计，可靠性高，效率高，是工业生产的绝佳机器。