二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias W #9222545 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS W是一款为半导体器件制造而设计的蚀刻器和asher设备。它在单个平台中结合了批量蚀刻和同时灰化功能,使制造商能够在其生产周期中实现更大的过程控制。这使得TEL Trias W非常适合广泛的生产过程,从大批量的单一产品运行到小批量的更复杂的设备构造。在其核心，TOKYO ELECTRON TRIAS W利用一个大型反应室来容纳被加工的晶圆。该腔室与化学输送系统协同工作，将反应性物质注入腔室，使晶片暴露于反应性大气中。当晶片暴露在这种气氛下，蚀刻和灰化以精确控制的比例发生。这样可以确保蚀刻和灰化以相同的速率进行,从而为制造商提供对最终产品的完全控制。Trias W还配备了先进的工艺控制功能，使其能够适应不同的生产需求。它包括控制压力、温度、流量、气体种类等的广泛参数。这样可以确保蚀刻和灰化精确地按预期进行。TEL/TOKYO ELECTRON Trias W也是为了灵活性而设计的，允许多种配置以满足特定的装置需求。它可以用不同的印版尺寸来定制，或者加上额外的加工室和晶圆转移臂。这使制造商能够减少工艺时间并最大限度地提高其设备构造的准确性。此外，TEL Trias W配备了多项安全功能，以保护机组和操作员不受任何潜在事故的影响。这包括内置的安全机器监视器和警报,用于检测任何问题并相应关闭该过程。TOKYO ELECTRON TRIAS W是一款功能强大、灵活的蚀刻和asher工具，具有处理大批量生产过程的能力。它的过程控制功能、可定制的配置选项和安全功能使其成为需要可靠和准确结果的半导体器件制造商的理想选择。