二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293592929 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是专门为半导体器件制造而设计的蚀刻器/asher。是200毫米晶圆容量的单晶圆工具。采用横向水平加工技术，优化蚀刻表面均匀性。蚀刻器包含可调节尺寸的旋转基板和液体辅助蚀刻特性。此特性允许均匀的蚀刻速度和大面积均匀分布的蚀刻。基板加热加压以提高蚀刻速度，同时保持清洁。此外，蚀刻器具有很高的精确度，从而确保可以准确地再现蚀刻数据表的形状和大小。蚀刻器有一个能够容纳200毫米晶圆的单室腔室。这使得广泛的底物得以加工，包括多晶硅和氧化硅。蚀刻器还配备了用于深层蚀刻的反应性离子蚀刻（RIE）。双模离子源允许使用多种蚀刻材料，包括氟化物、氢氟化物、硼烷、卤化物和氮化物。该蚀刻器旨在最大限度地减少污染和清洁问题。它采用反向清洗系统，反向蚀刻过程，提供干净的后蚀刻表面。除此之外，系统还有一个隧道洁净室，可以装载水蒸气和惰性气体，以保证高水平的洁净度。该蚀刻器具有易于使用的软件界面，可根据各种蚀刻图样量身定制。用户可以调整时间以保持稳定的蚀刻速度，或者在关键区域提供额外的蚀刻速度。系统还包括扫描时间表,以确保晶圆暴露于指定的处理参数。总体而言,TEL Trias 蚀刻器/Asher非常适合在各种基板上完成任务,对蚀刻速度和表面均匀性有出色的控制。它是快速产生准确结果的可靠和高效的工具,可确保较高的生产率和成本效益。