二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293605722 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一种高级蚀刻/灰化（etchback）机器，用于制造和加工高级半导体器件和其他复杂器件。TEL Trias被设计为具有干湿蚀刻功能的多功能机器,使其能够在受控环境和各种材料中执行蚀刻/灰化过程。TOKYO ELECTRON TRIAS有一个精密的数位控制设备，在蚀刻/ashing过程中提供高重复性和精确度。Trias具有两个蚀刻/灰化腔室,每个腔室支持各种拔罐/蚀刻工艺。第一室，湿蚀刻室，装有真空和液基蚀刻剂。湿蚀刻室适合于处理两种材料的晶片，如Amorphous Silicon和Poly-Si Ge，以及提供铝和铜表面的优越蚀刻/灰化。第二个腔室，即干蚀刻腔室，支持干燥、非真空蚀刻/灰化工艺。该腔室适用于聚酰亚胺稀释、高级图样加工和干膜蚀刻等工艺。TEL/TOKYO ELECTRON Trias设计了多种元件，如氧气流入系统、自诊断单元和射频电源，以确保最佳蚀刻/灰化性能。TEL Trias还拥有一台自动化的晶圆处理机，它使各种适合蚀刻/灰化的晶圆尺寸得以使用，包括基板和厚度最大为1毫米的层。全自动过程控制能够跟踪和控制过程中的蚀刻/灰化参数。除了是一个有效的蚀刻/灰化机，东京电子Trias也是强大的，当涉及到清洁和干燥的晶圆。其清洗过程包括重标记和污染表面的脱气，自动生成氮气气泡和液体处理。Trias还具有多功能干燥功能，能够高效、快速地干燥细颗粒和大尺寸颗粒。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS是一个很好的例子,它是一台能够以高精度和可重复性生产具有湿法和干法蚀刻/灰化工艺的先进半导体器件和其他复杂器件的机器。TEL Trias广泛的流程功能、易于使用的自动化控制和高水平的流程可重复性,使其成为工业和研究/开发应用的理想蚀刻器/粉碎器。
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