二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293605934 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款蚀刻/asher设备，设计用于快速且精确度较高的微电子器件处理。它采用微流体射流蚀刻技术，最大限度地提高了蚀刻速度、精度和均匀性。TEL Trias还配备了3轴Zernike型对准系统，用于高精度对准基板或晶圆位置进行蚀刻。TOKYO ELECTRON TRIAS利用反应性离子蚀刻（RIE）等离子体环境，由多个离子源所产生的静电场加速。这将为整个基材或晶圆创建一个具有原子级精度和均匀蚀刻速率的蚀刻过程。等离子体环境减少或消除了易受边缘和角落侵蚀的不良物理蚀刻过程，使得更高密度的设计成为可能。Trias还支持全方位的光阻技术，包括标准和次分辨率光刻。它旨在提供高达每小时10个晶圆的吞吐量，其软件设计为与上下游流程集成和自动化。该单元还可以处理复杂的3维结构，并且与大多数现有的光掩模结构兼容。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS被安置在一个低振动的环境隔离室中，这提高了准确性，并最大限度地减少了由于磁性引起的光掩模失真。其内置的晶片处理机降低了污染和颗粒粘附的风险，晶片级装有石英加热元件，允许精确精确的热控制。TEL Trias由服务代表和技术专家组成的全球网络提供支持,以提供现场支持和定制工程解决方桉。
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