二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293609735 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款大型蚀刻机/asher机，用于多种微电子处理应用。这种用途广泛的设备用于半导体晶片的氧化物剥离和蚀刻，以及金属和其他材料的蚀刻。TEL Trias具备高速功能、晶圆处理灵活性和高级安全功能。其大型平台每循环最多可容纳六个200毫米（8英寸）晶圆，其高速CF4/O2反应性离子蚀刻（RIE）确保了快速一致的结果。此外,TOKYO ELECTRON Trias还提供了许多用户友好的选项,包括带有慢跑轮的直观触摸屏界面、可变泵向下和有限压力控制、三个温度区域以及即时切换蚀刻工艺。这款蚀刻器/asher也非常可靠，具有世界领先的质量和长期的可靠性，这要归功于它坚固而密封的不锈钢腔室，以及它的三重屏蔽设计。此外,Trias还提供最先进的安全功能,如双联锁、一套传感器类型和自动打开安全门。这提高了用户和操作员的安全性。总而言之，TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款用途极为广泛、可靠的蚀刻器/asher，可满足半导体、工业和电子行业的苛刻需求。该蚀刻器具有高速、先进的冷却、过程自动化和安全功能,可实现精确的微电子处理。因此,TEL Trias是各种晶圆级应用的理想解决方桉。