二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293622393 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是用于各种半导体加工应用的最先进的蚀刻器/asher设备。利用电感耦合等离子体（ICP）技术为先进半导体器件的制造提供了强大、精确的蚀刻和灰化操作。TEL Trias拥有一个大型、温度控制的工艺室，加上温度稳定的等离子体源，能够进行多种工艺，包括光刻蚀刻、氧化和灰化。TOKYO ELECTRON Trias采用了先进的蚀刻技术，使蚀刻特征具有极好的选择性和均匀性，并能精确和可重现地加工出薄膜。Trias晶圆加工区设计为提供最佳的温度控制和均匀性。这是通过使用循环水冷却的八个圆柱形石英板来实现的。每块板间隔8mm，可调节可调节温度均匀性，可重复360°。这样可以确保准确的蚀刻结果,并防止晶片在加工过程中放置错误。晶圆传输系统还允许使用惰性气体将晶圆快速准确地放置在加热器平原上，以防止污染。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS利用一个单独的封闭CDA腔室，用于提供蚀刻和灰化所需的化学品和气体。该室提供稳定的工作环境，允许有效输送试剂，以及气体溷合和净化，以提高工艺的可重复性。该装置还包括一台先进的真空控制机器，该机器带有负载锁，可有效地将晶片送入和送出腔室，并减少来自工艺环境的污染。TEL Trias还能够根据正在执行的特定应用优化蚀刻过程。这包括可调蚀刻速率、可调均匀性和均匀性、可调蚀刻深度等能力，所有这些都可以针对任何给定的工艺进行精确调整，从而提高产量、准确性和可重复性。该工具还提供高级监控功能,如温度反馈控制和端点检测,允许自动测量和反馈过程参数。总之，TOKYO ELECTRON Trias是一种先进的蚀刻/灰分资产，旨在提供精确的蚀刻和灰化操作，以及可以针对特定应用量身定制的可调处理参数。该模型稳定的工作环境、温度均匀的处理以及先进的监控功能，使其成为制造各种先进半导体器件的宝贵工具。