二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293652308 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Trias是由TEL（TOKYO ELECTRON）Corporation设计制造的蚀刻器/asher。它是一种高精度的蚀刻和灰化装置，用于在半导体芯片、微机电系统（MEMS）结构和集成电路（IC）结构的蚀刻层中，在薄膜层和图样中创建微小的开口。TEL Trias是一款迭代蚀刻和灰化设备（TEARS），与传统的干蚀刻器和灰烬器相比，精度和精确度都有所提高。它采用先进的半导体蚀刻/灰化工艺，能够实现高度精确的蚀刻、灰化和切割操作。该系统具有改进的高通量工艺时间控制功能,使其能够在蚀刻层中生成一致的蚀刻轮廓和精确的图样。此单元还包含对蚀刻头的精确定位控制,从而可以将蚀刻头精确定位在基板表面上。此外，TOKYO ELECTRON Trias还具备晶圆级温度控制、精密晶圆衬里和垫片放置、精密晶圆旋转和载荷等集成晶圆处理能力。这使得机器能够将蚀刻、ashing和精确的阵列任务集成到单个刀具操作中,从而无需额外的加工过程,并允许优化蚀刻和ashing过程。Trias还采用了低压旋转阳极氧化（RRO）蚀刻工艺，可以实现更精确的蚀刻轮廓和更高的蚀刻质量，同时消除蚀刻损伤。此外，TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS还改进了工艺控制，在蚀刻室中精确控制了湿度、温度和氧浓度，从而提高了蚀刻质量，提高了同一蚀刻时间的收率。TEL Trias还具有改进的安全性和操作功能,例如封闭式机器人、运动控制、快门阀门和负载/卸载设备,从而提高了安全性并提高了用户安全性。再者，TOKYO ELECTRON Trias也通过ISO 14001认证，保证资产的性能质量。通过结合先进的蚀刻和灰化技术，Trias是半导体芯片、MEMS结构、IC结构生产的理想蚀刻器/灰化器。它提供了更高的精度、精度和安全性，使其成为高级蚀刻和灰化任务的理想设备。
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