二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293677520 待售
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ID: 293677520
优质的: 2006
Metal CVD system
Process: Ta₂O₅
(2) Chillers
(3) Chambers
Loader
Waste gas treatment system
Uninterruptible Power Supply (UPS)
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一种蚀刻器，或称为asher，用于半导体微加工工业，用于创建集成电路。TEL Trias使用高度精确的等离子体增强化学气相沉积（PE-CVD）工艺，提供卓越的可控性、可重复性、高水平的工艺灵活性和高容量的吞吐量。为了确保结果准确一致，TOKYO ELECTRON Trias将实时数据反馈和晶圆运动测量与智能控制系统结合在一起。在间隙填充方面，Trias特别有效，其封闭式间隙填充模式沉积得到证实，使其能够以高精度沉积填充深孔和极窄间隙。除了填充间隙外，TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS还可用于复杂蚀刻，如蚀刻制造晶体管、电容器和其他基本电路元件所必需的高长宽比结构。TEL Trias的封闭结构减少了化学暴露，使其不仅更有效而且安全。TOKYO ELECTRON Trias还具有提供实时过程监控的高级过程控制（APC）系统。该系统允许自动优化蚀刻参数,确保过程始终处于最佳运行状态。此外，Trias还配备了快门、晶圆转移、样品交换等腔室活动，操作方便安全。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS非常适合在高批量生产环境中使用,在这些环境中,一致的性能、可靠的过程管理和高通量至关重要。TEL Trias凭借其先进的功能和良好的业绩记录,是一款可靠的工具,可帮助半导体制造商生产最优质的集成电路。
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