二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293689274 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是利用感应耦合等离子体（ICP）技术，精确蚀刻石英、玻璃、硅片、金属等多种材料的蚀刻器/asher。TEL Trias是一种先进的蚀刻设备,由多过程模块组成,能够同时执行标准蚀刻和精细图案蚀刻,需要精确控制厚度和可重复性。TOKYO ELECTRON TRIAS的ICP源结合了一个高频电压发生器和一个大的玻璃外壳，内含惰性气体，如氙气、氢气、氦气。ICP源用于创建能量水平、温度和压力受控的等离子体，允许对多种材料进行精确蚀刻。Trias的软件界面可以根据客户的特定需求轻松定制。它包括各种流程参数和内置参数，可以根据需要进行调整和修改。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS还具有均匀的气体分配系统，将挖出的物质均匀地分布在晶圆表面上，使得蚀刻深度和电阻率均匀。其统一的温度控制单元允许精确控制蚀刻过程，确保可重复性和一致的高质量结果。TEL Trias的界面还允许用户根据客户指定的需求跟踪流程参数、分析趋势、调整蚀刻流程。安全方面，TOKYO ELECTRON Trias的设计符合客户的安全规定和要求，以及提供自动报警器、压力和流量监测、排气机、蒸汽回收等综合安全功能。总之，Trias 蚀刻器/asher是一种先进的蚀刻工具，能够对各种材料进行精密蚀刻和细纹蚀刻，并提供出色的安全特性。