二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293754398 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一种最先进的蚀刻器（或asher），常用于半导体等相关行业，如IC生产和液晶面板。它能够使用片状晶片上的反应性气体进行蚀刻和清洁操作。TEL Trias利用智能技术和工具的组合实现精密蚀刻，包括等离子体源控制、超高真空技术和其他各种工艺技术。TOKYO ELECTRON TRIAS具有许多先进的功能,使其能够在低功率下运行,并具有很高的控制水平、准确性和可靠性。该蚀刻器具有先进的三束光源、多伺服柔性气体溷合系统、高端温压控制系统和可定制的蚀刻室。有了这些特性，Trias可以为最复杂的晶片和任何所需的表面光洁度提供精确的蚀刻。蚀刻器包括许多可编程的功能，例如能够为不同类型的晶圆选择最佳蚀刻参数，设置工艺参数以自定义结果，并创建自定义配方以重复相同的蚀刻结果。此外，它还有综合安全机制，以确保安全运作。TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一个可靠的生产平台,具有易于使用的控制和监控系统,提供卓越的性能、准确性和可靠性。它能够对各种结构和材料，如硅、石英和铝进行蚀刻、清洗和粉刷，提供多功能性和灵活性。它是现代生产设施寻求减少时间和成本，同时保持高质量标准的理想选择。