二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293767140 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一种等离子体蚀刻设备，专门设计用于设备制造研发，以及生产范围广泛的半导体器件。它能够在同一腔室中蚀刻单个或多个图样层，用于制造现代MEMS和相关设备。TEL Trias利用低频等离子体源最大限度地减少不同模式上的蚀刻损伤,同时提高生产率。该蚀刻系统还提供了广泛的精密等离子体蚀刻功能，使得能够制造具有高分辨率和精确度的设备。TOKYO ELECTRON Trias单元改进了工艺控制，提高了生产能力，是制造先进半导体元件的理想选择。Trias有许多特点，使它成为一个有吸引力的蚀刻机。例如,它具有改进的热管理工具,能够借助内部加热器和冷却器快速冷却和恢复时间。此外,它还配备了高级自动频率控制（AFC）功能,以确保过程的一致性以及更高的吞吐量和生产率。此外，该资产还包括用于实时监测和控制等离子体状况以及快速识别任何潜在问题的内置诊断程序。这确保了高级别的过程可重复性和可靠性。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS还附有一系列专用的蚀刻室，提供不同的蚀刻能力，并提供不同层次的选择性来蚀刻不同的材料。例如，专用腔室允许进行深蚀刻、浅蚀刻和反应性离子蚀刻。此外，该型号还配备了多点偏置板和多级端点检测设备等多种先进部件，以最大限度地提高蚀刻质量。最后,TEL Trias设计为易于操作,并附带一系列软件和用户界面。例如，它可以通过集成的触摸屏面板进行控制，使用户能够直接从显示屏监控和控制蚀刻过程。此外,系统与一系列软件包兼容,允许用户创建蚀刻配方并评估蚀刻结果。总体而言，TOKYO ELECTRON Trias为广泛的半导体需求提供了可靠且可重复的蚀刻性能。其先进的蚀刻能力，加上广泛的工艺控制功能，使其成为制造现代MEMS及相关设备的理想选择。