二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293778167 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款先进的蚀刻器/asher，用于在集成电路的创建过程中，在半导体晶片中创建复杂的图样和不同的形状。TEL Trias与计算机控制的舞台配合工作，能够轻松准确地产生精确的结果。TOKYO ELECTRON TRIAS用于生产广泛的电子元件，如晶体管、二极管和其他微电子元件。Trias有一个高压批蚀刻设备（HEBS）腔室，使高纵横比蚀刻具有精确的厚度控制。腔室允许精确控制时间、温度、压力、化学等蚀刻参数。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS为精确的特征尺寸和可重现的性能,利用自旋光刻涂层系统进行均匀涂层,并易于去除光刻胶。TEL Trias的集成过程控制单元旨在提供强大的实时控制功能。此机器监视、校准和管理腔室内的过程参数、配方和变量。它还有助于保持生产质量,并将工艺参数保持在可接受的范围内。先进的工艺控制工具还允许用户即时进行调整，以适应工艺参数和环境条件的变化。TOKYO ELECTRON TRIAS高度适应当今的工艺要求，提供高效、可重复、可靠的蚀刻工艺。Trias具有高性能的蚀刻和沉积过程、均匀的表面光洁度以及先进的程序管理功能,可提供突破性的性能。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS能够放电0.1至150升的体积，可以处理直径达4英寸的晶片。TEL Trias还具有智能警报资产,用于预测、监视和防止过程错误和污染物。总体而言，TOKYO ELECTRON Trias是一款先进的蚀刻器/asher，提供精确的控制和可重复的性能，并确保可靠的结果。凭借其高性能蚀刻、先进的程序管理能力和智能报警模型,Trias提供了高吞吐量和延长使用寿命的可靠结果。