二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293778168 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS是一种先进的蚀刻/asher系统，用于电子元件的精密图样和材料沉积。它能够在各种各样的基板上蚀刻图样，成为半导体封装和互连性的行业标准。TEL Trias利用可针对不同应用定制的模块化平台，使其能够高效地执行各种蚀刻和材料沉积任务。TOKYO ELECTRON TRIAS由一个主单元、一个闸门单元、一个装载机/卸载机、一个扫描机构和一个转移机制组成。Trias的主要单位是由电子束蒸发源（EB VPS）和等离子体室组成。EB VPS用于将蚀刻的图样沉积在基板表面上,通过控制材料的用量提供无与伦比的质量和精度。等离子体腔是一个包含EB VPS产生的等离子体的封闭空间，用于将图样蚀刻到基板中。TEL/TOKYO ELECTRON Trias的闸门单元包含一个闸阀和几个控制监视装置，用于控制从EB VPS传递到基板表面的物料数量。装载机/卸载机提供了一种在基板装卸站和扫描机构之间进行自动传输的方法。涉及拾取和放置工具的自动化操作有助于以更高效的方式装载/卸载基板。扫描机构包括一个具有扫描运动的主轴头，在多个方向上扫描通过基板以正确蚀刻图样。转移机制包括一个自动化工具，根据需要在基板装载机/卸载机和扫描机制之间转移基板。这提供了一个有效的转移与最小的机械磨损。TEL Trias是一个可靠的蚀刻和材料沉积系统，具有许多特点，使其成为半导体封装和互连性的行业标准。其模块化设计和先进的电子束气相沉积技术为电子元件提供了精确、准确、可重复的图样和材料沉积。高效的装卸机制和自动化工具提供了一个可重复、自动化的过程，使得TOKYO ELECTRON TRIAS成为在各种材料上蚀刻和沉积复杂图桉的理想选择。