二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293821470 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一个先进的蚀刻机-asher平台，用于制造半导体应用的电子元件、电路和晶片。该设备提供湿蚀刻/剥离和沉积/升空工艺，允许将多层复杂材料和不同厚度的图样贴在基板上。TEL Trias有一个三级系统，上下室由垂直室连接。上腔用于晶片的转移和清洁，下腔用于蚀刻和剥离，垂直腔用于控制晶片温度、晶片地形以及掩模和抗蚀层的一致性。该单元最多可处理8英寸晶圆，最小特征尺寸为0.6微米。它是加工半导体晶圆、薄膜晶体管和微机电系统（Microtromechanical Systems）等精细基板的理想选择。气动控制阀可以精确控制蚀刻剂和溶剂，而不会使底物的细腻特性变性。TOKYO ELECTRON TRIAS配备了显微镜和其他成像工具，用于对生产的半导体进行可视化和故障检测、错位和其他差异，以及进行严格的质量控制。此外，该机还配备了样品装载机、加倍浇注系统等先进的自动化部件。这使得材料的加工更加容易和高效。该工具还配备了先进的安全功能，包括氮气净化资产和灭火器。这有助于减少腐蚀过程中化学品处理不当造成的污染和其他潜在危害。Trias具有坚固可靠的性能，允许制造高质量、精确的半导体产品。它也是紧凑的，使得它适合大多数实验室环境。该模型还具有成本效益，因为其目的是尽量减少化学品和设备的浪费。此外，这些设备符合所有环境法规，其目的是尽量减少对环境的影响。