二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293824449 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS是半导体工业中使用的最先进的蚀刻器和asher。它是一种反应性离子蚀刻（RIE）设备,具有业界领先的性能和可靠性。广泛应用于半导体芯片的制造，包括微电子结构、聚合物、纳米结构的蚀刻。TEL Trias是一个多过程系统，可以在一个单元中执行蚀刻、灰化和清洗过程。TOKYO ELECTRON TRIAS利用感应耦合等离子体源与HDPCVD（高密度等离子体化学气相沉积）耦合，提供高度优化的蚀刻工艺。Trias采用了精密的控制机器,能够进行平滑、高精度的蚀刻/灰化操作。它还提供各种腔室配置，以适应一系列的应用。它配备了FirstTM腔室传感器，能够监控腔室内部并防止污染。此外,TEL/TOKYO ELECTRON Trias还提供了一种创新的MultiChamber TM功能,使用户能够在多个室内执行并发过程。此功能非常适合许多蚀刻过程,因为它显着降低了成本和时间。此外,TEL Trias还配备了FlexibleGas TM工具,可以根据工艺需要选择不同种类的气体和组合。TOKYO ELECTRON TRIAS在过程数据的管理上也非常高效。它具有ProcessSmart TM数据收集资产,能够实时监控和评估流程数据。高级分析模型为用户提供了对其流程的宝贵见解,以优化生产效率。最后,Trias旨在最大限度地减少潜在的人为错误并降低维护成本,使其成为以经济高效的方式制造半导体芯片的理想选择。