二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293824452 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款电脑控制的等离子体蚀刻机-asher设备。该系统专为研究实验室使用而设计,旨在轻松准确地优化过程,使用户能够获得所需的蚀刻和灰化配置文件,而不会影响设备性能。其全面的设计融合了增强用户体验的功能，如自动晶圆位置检测技术和图形用户界面。TEL Trias机配备了高性能的自动蚀刻和灰化源技术，使用户获得了最高水平的精度和控制。该工具利用先进的等离子体处理反应器和坚固的腔室组件，在几分钟内确保均匀和高质量的结果。此外,TOKYO ELECTRON Trias还提供了一个宽广的过程窗口,其中包含可轻松调整的不同参数,为用户提供了对单个过程参数进行微调的可能性,以实现高度详细的蚀刻或灰度剖面。Trias具有可编程的超快速源交换时间,允许用户在进程的中间切换源,而不会降低性能。该资产还包括一个真空密封机制，防止任何气体泄漏由于空气渗透或意外提升腔室。其革命性的晶片位置检测技术考虑了晶片角度，使用户能够获得最佳的蚀刻或灰度轮廓。为了方便用户使用,TEL/TOKYO ELECTRON Trias具有直观的触摸面板显示屏,可放大蚀刻/灰化工艺参数的图形表示,使其更易于阅读和理解。该模型还支持OPC数据，为外部设备控制打开了工具，可以简化当前的蚀刻过程。再者，TEL Trias可以从单独的终端接收编程输入，允许用户执行额外的源设备操作和过程绝缘控制。TOKYO ELECTRON TRIAS是一个高度先进且精确的等离子体蚀刻机-asher系统，旨在为研究实验室提供一套全面的工具。凭借其行业领先的技术和对晶圆位置检测和OPC数据通信等独有功能的支持,Trias是任何希望实现最高级别工艺优化的研究人员必不可少的工具。