二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9118411 待售
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ID: 9118411
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Chemical Vapor Deposition (CVD) system, 12"
Cassette to cassette
(2) TiCl4 Ti
(2) TiCl4 TiN
Transfer
Load lock: A and B
KOGANEI Gauge
STEC VC131004ST20 Vaporizer
Pump:
LLM Dry pump
TM Dry pump
(5) Dry pumps
Valve:
FUJIKIN Manual valve (N2-1/N2-2/N2-PF/Ar)
Manual valve (Dry air line)
(2) LLM1.2 Door valves
(2) V TEX I-I-98009-2-1 Gate valves
KITZ Gate valve
Regulator:
VERIFLO SQ-MICRO-HF-50-2P-UPG-601 (N2-1/N2-2)
VERIFLO SQ-MICRO-130E-50-UPG-6405 (N2-PF)
VERIFLO SQ-MICRO-602PUPGPA (Ar)
KOGANEI SQ-MICRO-30-2P-UPG-6028
VERIFLO SQ-MICRO-602PUPGPA (Dry air line)
Sensor:
(2) SUNX DP2-22 Pressure sensors
LEYBOLD PS.12/PS.32 TSR211S
LEYBOLD PS.31 INFICON VSA100A
LEYBOLD TSR211S Pirani sensor
Filters:
N2-PF
Dry air line
Manometer:
MKS 626A01TDE
LEYBOLD CDG160A-S 1330PA
LEYBOLD CDG160A-S 133PA
RF Power:
KYOSAN HFK15Z-TW1 RF Power supply
KYOSAN EAKIT RF Matcher
MFC:
Make / Model / Gas / Value
HITACHI / SFC1470FAMC-4UGLN / CLF3 / 500 SCCM
HITACHI / SFC1480FAMC-4UGL / Ar / 2 SLM
HITACHI / SFC1481FAMC-4UGLN / He / 5 SLM
HITACHI / SFC1480FAPDMC-4UGL / NH3 / 600/2000 SCCM
HITACHI / SFC1480FAMC-4UGL / N2 / 2 SLM
- / - / Ar 300 SCCM
/ - / N2 300 SCCM
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款高速蚀刻器/asher，设计用于在广泛的材料上给出一致的蚀刻结果，包括金属、半导体材料和陶瓷基板。利用先进的真空蚀刻技术，实现了高精度和重复性。蚀刻器/灰化器可用于多种应用，如溅射蚀刻、蚀刻或停止蚀刻后的光刻平面化、薄膜应力减轻以及在难以到达的区域形成凹槽。蚀刻器/asher配有真空设备，允许精确控制蚀刻/灰化区域。它有一个先进的蚀刻室和一个真空屏蔽保持清洁室水平的系统内。此外，它还配备了光学单元和自动准直探针（ACP）来精确测量和设置蚀刻条件。这款蚀刻器/asher配备了强大的高频射频发生器，以提供能量蚀刻广泛的材料。蚀刻过程由集成计算机机器监控和控制，也可用于根据正在加工的材料微调蚀刻参数。该工具还配备了软件，用于调整处理参数、测量蚀刻速率、编译处理结果。此蚀刻器/asher具有各种功能和工具,使其能够用于各种应用程序。例如，它具有将反应性气体引入蚀刻室的气体资产，以及在蚀刻过程中添加化学品的化学输送模型。再者，它配备了一个高温度阳极氧化室，可以用来蚀刻和平面化晶片等材料。在安全性方面，TEL Trias的设计具有安全特性，如用于停止蚀刻器/灰烬的特殊紧急停止（E-STOP）特性，无臭氧排气设备，以及在发生任何合规问题时关闭射频发生器的自动关闭功能。该系统还有一个自动安全装置，用于检测有害臭氧水平。总体而言，TOKYO ELECTRON Trias是一款高性能的蚀刻器/asher，能够在广泛的材料上实现一致的蚀刻结果。它配备了先进的蚀刻技术、安全特性，以及处理不同蚀刻和灰化工艺的各种工具，使其成为各种半导体器件制造应用的绝佳选择。
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