二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9158471 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是专门为半导体器件制造而设计的蚀刻器/asher。它用于在晶片制造过程中在硅晶片上创建和修改模式，通常在亚微米尺寸上。TEL Trias是一种将超高真空兼容性和高速吞吐量相结合的四面晶圆蚀刻机，成为一种紧凑的工具。其坚固的构造提供了一个长期的过程。TOKYO ELECTRON TRIAS能够在-20°C至600°C的温度范围内进行广泛的加工操作，包括蚀刻、氧化、扩散和植入。Trias配备了80 MHz的石英谐振器，用于与时间相关的处理，以及自动晶圆传输和中央数据管理系统等一系列其他省时功能。这些功能确保TEL/TOKYO ELECTRON Trias易于维护,并在最短的停机时间内提供可靠的操作。TEL Trias对工艺条件的变化反应迅速准确。它的双喷雾阴极设计只需要两种工艺气体，在很大的工作压力范围内提供对蚀刻速率的精确控制。低温、高功率纯氧源可最大限度地减少热预算,并提供稳定的工艺条件。TOKYO ELECTRON Trias还提供先进的安全功能，确保操作员的安全和安心。板载RFID阅读器保护操作员免受晶圆表面的影响,而工艺室过滤器则通过捕获超细颗粒来保护环境。通过简化和自动化蚀刻工艺,Trias确保了半导体器件制造的灵活性、可重复性和成本效益。TEL/TOKYO ELECTRON Trias具有灵活性、高性能和安全特性,是现代半导体器件制造必不可少的工具。