二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9162309 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是由领先的半导体设备公司之一TEL製造的蚀刻/灰化设备。TEL Trias的设计目的是在生产过程中减少周期时间而不牺牲准确性或质量。该机配备了高速等离子体加工、光刻能力和等离子体辅助清洁等一系列先进功能。它还提供半导体器件的高精度蚀刻，并提供高密度等离子体以实现亚半微米分辨率。此外，TOKYO ELECTRON TRIAS在蚀刻过程中提供了极好的均匀性，并提供了广泛的蚀刻材料，包括铜、铝、钨和棒。此外，Trias能够蚀刻各种各样的选择性比，这使得能够生产防蚀刻的电子元件。该机甚至可用于多层材料的蚀刻，精度高达50 nm。这台机器同样引人注目的是它在整个生产过程中保持高水平可靠性和质量的能力。这是利用高级诊断和远程控制功能实现即时优化的。TEL/TOKYO ELECTRON Trias也是为了长期的总拥有成本优化而设计，其模块化的设计允许方便、省钱的升级，以确保高效的生产线。最重要的是，这台机器的设计非常方便用户。TEL Trias具有直观的菜单和易于遵循的说明,非常适合批量生产需要。它还具有独特的无工具维护功能,使操作员能够快速轻松地修复故障,并以最小的停机时间进行预防性维护。总体而言，TOKYO ELECTRON Trias是一种最先进的生产工艺设备，其设计目的是提供半导体蚀刻的质量和准确性。凭借其先进的处理器和广泛的等离子体辅助蚀刻功能,该机器非常适合那些需要经济高效、高密度、多层材料精密蚀刻的人。