二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9216068 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款专为过程集成而设计的全自动系统蚀刻器/asher。它提供了先进的设备制造技术，具有高度的精确度，用于蚀刻和灰化工艺的优化。该设备采用优化的相移和工艺参数，提供统一的蚀刻和灰化工艺结果。它配备了并行负载锁，能够同时加载多个基板尺寸。先进的主动级控制系统（ALCS）进一步增强了蚀刻和灰化操作能力,该系统利用对工艺条件的实时监测,并将样品温度精度保持在+/-0.1°C。该装置能够同时进行单个晶片和连续晶片加工应用的蚀刻和灰化，蚀刻速率可控，精度为1000埃。通过高功率离子枪和先进的废气部件保持蚀刻和灰化过程的一致性。该机提供了广泛的工艺化学方法，用于蚀刻和粉刷各种类型的材料。该工具旨在对图样化和未图案化的基板进行高精度蚀刻。双聚焦光学设备能够以不同的特征密度进行蚀刻，并具有细线精度和光学对准。光学诱导的库仑电位使得在蚀刻和轮廓控制过程中边缘端子的精确控制成为可能。该型号配备独立控制的加热器设备，以维持基板温度。该系统还集成了一个全自动等离子体蚀刻室和一个高级离子源，用于亚微米特征尺寸的蚀刻。通过使用与废气部件耦合的多喷嘴蚀刻头获得高精度的重复性。该装置具有较高的处理吞吐量和基于脉冲的蚀刻技术，能够在最短的时间内提供出色的蚀刻效果。此外，该机还提供了扩展的ESD防护范围、综合气体安全工具和先进的等离子体屏蔽等先进的安全特性，使操作安全可靠。总之,TEL Trias资产为过程集成提供了宝贵的工具,能够以前所未有的精度和一致性提供先进的设备制造技术。该模型在应用方面用途广泛，具有先进的工艺控制算法、增强的安全环保特性、高吞吐量等优越的性能特点。