二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9225844 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款在前端半导体生产工艺中广泛使用的先进蚀刻器/asher。它是一个高性能的蚀刻和灰化过程模块，在一个高效模块中提供等离子体蚀刻和干灰化过程。该系统包括一个工艺室、真空泵封装、腔室控制单元、电源设备和操作员控制台。TEL Trias的工艺室是最注重刚性设计要求的建造，是为提高蚀刻工艺的均匀性和可重复性而设计的。其结构包括三层真空室和金属室基座，具有坚固的颗粒控制，可用于可靠的薄膜蚀刻工艺。腔壁镀镍，具有化学相容性和长期用途，电阻率高，可以提高蚀刻工艺精度。该系统的真空套件设计为提供可靠稳定的机器环境，并配备了可变节流真空泵等TEL专属技术，以及多个节流点，以减少停机时间，提高蚀刻工艺精度。腔室控制单元采用复杂的多参数控制软件进行编程，以优化过程优化、温度和压力控制以及过程运行的可重复性。TOKYO ELECTRON Trias的电源设备包括电子回旋共振（ECR）电源和源电源，由高端、高频RF功率放大器驱动。这确保了一个稳定和均匀的蚀刻过程，使得生产高产成为可能。ECR源还提供各种源电极设计，在高处理速度下创造出高效的工艺和优越的均匀性。Trias的操作控制台为无缝、简单的用户体验提供了直观、直观的界面。它带有一个集成的流程库,用于快速数据管理以及完整的流程参数控制。控制台还允许广泛的流程监控和早期问题检测,以及访问数据日志文件以实现完整的流程可追踪性。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款高效可靠的蚀刻器/asher，旨在支持现代半导体生产工艺。其先进的耐用性和性能使其成为半导体制造前端和后端部件的理想选择。