二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9234139 待售
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ID: 9234139
优质的: 2013
System, parts machine
Missing parts:
EFEM: Main PC / Robot controller
Transfer module: TM Robot / Robot controller
Process chamber: ESC
2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS是一种蚀刻/asher设备，用于金属沉积前晶圆表面上的有源层创建。该系统是利用干等离子体技术进行阴离子沉积的直列式蚀刻/发酵室，利用从入口到反应室的定制源气体溷合物。TEL Trias单元适用于制造高精度器件,如场效应晶体管（FET）。它能够处理18毫米至800毫米的晶圆直径，其中300毫米和450毫米是生产中使用的标准尺寸。从氧化物蚀刻、氮化物蚀刻、多晶硅蚀刻、金属溅射蚀刻等各种工艺，都可以精确控制蚀刻速率、选择性、均匀性、离子杂质；以及尽量减少液体的污染和使用预先设定的食谱。TOKYO ELECTRON TRIAS机器能够在功能控制方面提供0.3 μ m至10 μ m或更高范围的蚀刻轮廓,而无需辅助工具。它利用两频源功率在反应室中产生强烈的、自稳定的干式等离子体，同时控制离子的产生。这与可定制的源气体溷合物一起，可以实现高效和精确的蚀刻结果。该工具还提供晶片步进兼容性，允许快速晶片传输和保证良好的整体晶片工艺结果。该资产还允许每分钟多达20个晶圆的吞吐量和完整的晶圆映射能力。此外，Trias在线蚀刻/发酵室能够控制各种反应参数。它配有多种监测选项以确保可重复性，包括压力和温度测量、质谱和石墨炉操作。由于其高效、精确的蚀刻结果，TEL/TOKYO ELECTRON Trias模型在半导体制造中得到了广泛的应用，使其成为该领域最受欢迎的蚀刻/蚀刻系统之一。事实证明，它能够产生具有出色填充和地形能力以及出色的移动性和选择性值的热氧化物层。它将精确度和可靠性相结合，成为生产先进电子设备的宝贵工具。
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