二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9235229 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS是一种蚀刻器，或称为asher，用于制造半导体器件。它是为各种蚀刻相关工艺而设计的，包括抗蚀条、湿蚀刻、溅射蚀刻和descum。利用射频（RF）功率,TEL Trias设备可实现精确、可重复的蚀刻效果.该系统由工艺室、真空泵、射频发生器和可电离气体输送单元组成。它一次最多能容纳四个晶片在工艺室内。该工艺室具有温度控制、用途广泛、耐工艺污染和环境污染两种特点.再者，TOKYO ELECTRON Trias机装有真空泵，可达5 x 10-6 torr。射频发电机可产生可调节的功率水平,以适应一系列工艺要求,从低功耗湿蚀刻到高功耗,以实现更快的拆除率。射频功率通过两个独立可调的平面电极施加到样品上，使复杂的图样能够轻松蚀刻。该工具的气体输送资产允许精确控制蚀刻速率和端点检测,以实现精确的端点控制。这种气体输送模式还有助于最大限度地减少蚀刻过程产生的有害影响。Trias设备包括一个过程可视化软件包，能够存储产品配方，分析蚀刻结构并实时呈现结果。这个软件包可以方便地控制和监控整个蚀刻过程，并为用户提供了一个用于精确、可重复蚀刻作业的通用平台。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON Trias蚀刻系统允许精确和可重复地制造半导体器件，具有用户友好的过程控制和易于使用的界面。凭借其先进的特点，该单元是一个强大的工具，高效和可靠的蚀刻操作。