二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9235248 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款先进的蚀刻/asher设备，设计用于高效、精确的在线处理。该系统利用电子束技术对各种基板上的材料进行高分辨率图样和蚀刻。该单元的坚固设计确保了关键微电子应用的可靠结果，包括光掩模、对准层和回磨。TEL Trias机由电子束柱、离子发射侧、线性扫描级和气体分布工具四个关键部件组成。电子束柱由一个机电单元组成，它为精确的对准或纳米图案提供了快速运动和高精度。离子发射侧包含线性离子束发生器和探测器，以及离子交换器和发射能量控制组件。线性扫描级携带电子束柱穿过基板执行重复的阵列操作。最后，气体分配资产储存、供应和净化加工气体，以便对基材进行成型。所有这些组件结合在一起，使TOKYO ELECTRON Trias模型成为实现关键设备过程的快速而准确的工具。Trias设备还具有先进的过程控制界面。它能够实时监控蚀刻工艺，并允许用户快速调整参数，监控工艺进度，确保最大精度。此外，系统中包含的高级数据分析程序提供了全面的设备数据，作为优化蚀刻工艺的基础。所有这些特性使得TEL/TOKYO ELECTRON Trias单元成为在各种基材上对材料进行精确蚀刻和图桉化的理想工具。总体而言,TEL Trias是一款高级蚀刻器/asher机器,专为高效、精确的在线处理而设计。它结合了电子束技术的多功能性、线性扫描阶段的优越精度以及数据分析程序的先进过程监控能力，创造出一种能够在几乎任何基板上精确蚀刻和图桉化材料的强大工具。此外，先进的过程控制界面使得控制蚀刻过程和优化设备性能比以往任何时候都更加容易。