二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9235251 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是为各种半导体工艺和应用而设计的最先进的蚀刻和灰化设备。该系统可以蚀刻和粉刷各种材料，包括金属、氧化物和聚合物。它还可以用来创建极精确的微观结构，如线条、孔、坑和特征。该单元由结合射频（RF）、中频（MF）、直流电（DC）电源以及多种蚀刻和灰烬化学构型的先进等离子体源供电。等离子体源是高度可调的，允许操作员精细调整他们的蚀刻和灰化过程。该机配备了真空室、淋浴工具、视觉资产、负载锁、过程控制器。该模型有一个直观的图形用户界面，允许用户快速设置和故障排除他们的进程。所有参数都可以在广泛的范围内调节，包括蚀刻和灰化脉冲宽度、线条和空间宽度，以及其他关键蚀刻和灰分反应特性。该设备还具有现场测量和控制蚀刻和灰分完成点的功能。系统的自动化决策算法使它能够预测、预防和避免任何过程不稳定,从而确保多年的可靠和经济高效的操作。该单元灵活的设计也让它可以在蚀刻和粉刷行业内以最新的工艺设备和发展轻松的方式进行修改和升级。最后,该机器由全球售后服务工程师和技术人员组成的网络作为后盾,确保用户从蚀刻和粉刷系统中获得最大收益。TEL Trias是针对各种半导体蚀刻和灰化工艺及应用的高级解决方桉,为用户提供卓越的工艺性能、耐用性和经济高效的投资。