二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9241671 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款全自动蚀刻机，将蚀刻、图样、剥离等先进技术结合为一台直接设备。这种紧凑而坚固的系统具有蚀刻技术的最新发展，以及用户友好的界面和精确的处理。因此，它用途广泛，非常适合半导体行业的各种应用。TEL Trias以等离子体反应性离子蚀刻（RIE）和化学气相沉积（CVD）等最新蚀刻技术为特色。它还包括一个石英船、一个电位器和一个电源单元，允许完全控制模式传输过程。由于其创新的激光寻址功能，TOKYO ELECTRON Trias能够蚀刻和图桉到微米级的精度水平。Trias配备了多项安全功能，包括先进的泄漏检测器和压力表机器，加上全封闭的处理空间。这些特性确保大气安全且无危险颗粒，有助于确保最佳表面清洁度。TEL/TOKYO ELECTRON Trias中的用户界面直观易用，可实现最大效率和生产力。顶部面板采用彩色键控,分为四个部分,可访问所有以太网和PLC设备设置功能。大触摸屏显示器进一步简化了操作流程。TEL Trias提供了许多可选功能,例如自动基板/样品传输工具、静电计资产和集成条带功能。这些功能为各种流程应用程序提供了更强大的功能和灵活性。TOKYO ELECTRON TRIAS是一款高度先进、用途广泛的蚀刻机，将最新的蚀刻和图案化技术结合成一个紧凑的模型。凭借其用户友好的界面、丰富的可选功能和先进的安全功能,Trias非常适合执行众多半导体处理任务。