二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9261887 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一个先进、灵活的等离子体蚀刻和灰化工艺平台。它旨在满足当今具有挑战性的等离子体灰烬和蚀刻应用的严格要求。它的模块化设计和坚固的结构使其在各种加工要求上都非常可靠，能够处理尺寸从4"到8"不等的晶片。TEL Trias的先进特性包括耐用的石英陶瓷屏蔽衬里，在挥发性等离子体和工艺室之间提供了一层保护。这种衬里消除了化学反向扩散，使设备最适合最敏感的过程。它还具有正在申请专利的射频电极设计，确保在蚀刻和灰化过程中最大限度地控制能量。电极电感低，具有优化的上部电极设计，保证了均匀的蚀刻和灰化过程。除了这些特性外，TOKYO ELECTRON Trias还具有低湍流气流设计，通过创建低湍流气流模式优化蚀刻和灰化过程均匀性和重复性。气流有助于最大限度地减少分布在晶片上的不均匀性，从而产生一致的过程结果，产量更高。该系统还具有广泛的工艺参数，允许用户针对不同的应用量身定制蚀刻和灰化工艺。高级软件包引导操作员完成每个步骤,从流程配置到示例加载和处理。这种灵活性使用户能够轻松地使Trias适应其特定需求或快速开发新流程。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一个先进的、可靠的蚀刻/asher单元。它的特点组合使得它适合各种工艺要求，灵活的操作使得它易于配置和操作。有了这台机器，用户可以有信心无论具体应用程序如何，都能获得始终如一的高质量结果。